| 概況 | |
|---|---|
| 行程[°] | ∞ |
| 尺寸[mm] | 80x80x18.5 |
| 重量[g] | 220 |
| 孔徑[mm] | 38 |
| 力特性 | |
扭矩[Ncm] | 7 |
| 最大法向力[N] | 25 |
| 定位性能 | |
| 開環(huán)最大角速度[°/s] | 15 |
| 開環(huán)定位分辨率[μ°] | 2 |
| 閉環(huán)最大角速度[°/s] | 10 |
| 閉環(huán)定位分辨率[μ°] | 20 |
| 選配 | |
| 材質 | 鋁為標準;鋼底座(-ST);鈦基(-TI) |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 無磁 | 可根據(jù)要求定制 |