納米定位平臺(tái)
LS系列直線定位平臺(tái)提供數(shù)十厘米的運(yùn)動(dòng)行程，定位分辨率優(yōu)于1納米?；谡郴瑧T性驅(qū)動(dòng)、交叉滾子導(dǎo)軌傳動(dòng)，使得該系列產(chǎn)品具有結(jié)構(gòu)緊湊同時(shí)可提供高剛度和高導(dǎo)向精度。該系列定位平臺(tái)斷電時(shí)可自鎖且無能量損耗，使其可成為一勞永逸的應(yīng)用的理想選擇。此外，我們還提供可在高真空、超高真空和非磁性環(huán)境下工作的專用版本。