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產品簡介
NanoCube是一款擁有三自由度的微納米操作手，可進行跨尺度重復性納米運動，配備多種末端執行器以針對不用精密表征及應用。
產品特性
閉環編碼器
小巧實用
即插即用的末端執行器
可快速安裝和拆卸
兼容大多數光學顯微鏡及SEM/FIB
產品應用
電學測量
微納操作
微裝配
原位表征
規格參數
| 概述 | 技術參數 |
|---|---|
| 外觀尺寸 | 35x35x45mm |
| 工作范圍 | A: 360° B: 120° C: 12mm |
| 最大速度 | A: 10mm/s B: 10mm/s C: 2mm/s |
| 開環運動分辨率 | A: 10μ? (5nm) B: 10μ? (5nm) C: 1nm |
| 閉環運動分辨率 | A: 30μ? (14nm) B: 30μ? (14nm) C: 5nm |
| 安裝方式 | 磁性底座、螺紋緊固 |
| 備注：A、B、C 表示末端執行器的操作方向 A=左/右、B=上/下、C=延伸/縮進 | |