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產(chǎn)品簡介
NanoCube是一款擁有三自由度的微納米操作手，可進(jìn)行跨尺度重復(fù)性納米運(yùn)動，配備多種末端執(zhí)行器以針對不用精密表征及應(yīng)用。
產(chǎn)品特性
閉環(huán)編碼器
小巧實用
即插即用的末端執(zhí)行器
可快速安裝和拆卸
兼容大多數(shù)光學(xué)顯微鏡及SEM/FIB
產(chǎn)品應(yīng)用
電學(xué)測量
微納操作
微裝配
原位表征
規(guī)格參數(shù)
| 概述 | 技術(shù)參數(shù) |
|---|---|
| 外觀尺寸 | 35x35x45mm |
| 工作范圍 | A: 360° B: 120° C: 12mm |
| 最大速度 | A: 10mm/s B: 10mm/s C: 2mm/s |
| 開環(huán)運(yùn)動分辨率 | A: 10μ? (5nm) B: 10μ? (5nm) C: 1nm |
| 閉環(huán)運(yùn)動分辨率 | A: 30μ? (14nm) B: 30μ? (14nm) C: 5nm |
| 安裝方式 | 磁性底座、螺紋緊固 |
| 備注：A、B、C 表示末端執(zhí)行器的操作方向 A=左/右、B=上/下、C=延伸/縮進(jìn) | |