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產品簡介
NMT納米壓痕儀，能夠提供在光學顯微鏡和電子顯微鏡下，實時表征和觀察微/納米尺度材料機械力學性能。通過高分辨率的力傳感器、位移傳感器以及自動控制方法，可記錄力學性能表征測試過程中，材料表面被壓入的深度和負載數據，形成力-位移曲線。
產品特性
高精度力和位移測量
多種力傳感器和尖端形狀應對多種機械特性材料
兼容各類主流光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡
產品應用
 | ||
| 納米壓痕測試 | 拉伸和壓縮測試 | 納米操縱與裝配 |
規格參數
| 力傳感器 | Sensor A | 測量分辨率 | 1 nN |
|---|---|---|---|
| 測量范圍 | +/- 50 uN | ||
| 尖端 | AFM硅探頭 | ||
| Sensor B | 測量分辨率 | 1 uN | |
| 測量范圍 | +/- 20 mN | ||
| 尖端 | 金剛石尖端；可定制化尖端 | ||
| Sensor C | 測量分辨率 | 10 uN | |
| 測量范圍 | +/- 500 mN | ||
| 尖端 | 金剛石尖端；可定制化尖端 | ||
| 樣品臺 | 標準模塊 | 運動平臺 | XYZ |
| 運動范圍 | 10x10x10 mm | ||
| 運動分辨率 | 1 nm | ||
| 編碼器分辨率 | 2 nm | ||
| 壓痕臺 | 標準模塊 | 位移范圍 | 8 um |
| 位移分辨率 | 0.02 nm | ||
| 本底噪聲 | 0.2 nm |