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納特斯(蘇州)科技有限公司是一家專業(yè)從事研發(fā)、銷(xiāo)售精密運(yùn)動(dòng)定位平臺(tái),納米科學(xué)精密儀器的高科技企業(yè)。 公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)在精密運(yùn)動(dòng)定位,微納自動(dòng)化系統(tǒng)集成方面具有十多年的研發(fā)和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),專注于光學(xué)、顯微,半導(dǎo)體、精密加工等領(lǐng)域,為用戶提供專業(yè)精密運(yùn)動(dòng)定位系列產(chǎn)品及技術(shù)服務(wù)和解決方案。
技術(shù)
TECHNOLOGY

NATORS專注于為全球客戶提供高精度的運(yùn)動(dòng)解決方案。核心技術(shù)在于壓電驅(qū)動(dòng)慣性運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器,可以在數(shù)十厘米的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)提供亞納米級(jí)的運(yùn)動(dòng)分辨率。其工作原理是通過(guò)壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源(壓電陶瓷加載電壓后產(chǎn)生逆壓電效應(yīng)產(chǎn)生微小伸縮變形并輸出驅(qū)動(dòng)力)、并基于粘滑運(yùn)動(dòng)機(jī)理,即利用接觸面間動(dòng)靜摩擦相互交替來(lái)實(shí)現(xiàn)微小步進(jìn)位移。根據(jù)材料的選擇,這種定位器可以做成高真空(HV)、超高真空(UHV)、非磁性和低溫兼容的各種版本。
應(yīng)用
APPLICATION
NATORS納米定位系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于需要大行程、高運(yùn)動(dòng)定位精度的各種工業(yè)及科研領(lǐng)域,尤其是工作空間有限、高真空/超高真空/無(wú)磁等特殊工作環(huán)境的場(chǎng)合。例如光學(xué)/光電子研究、同步輻射裝置、醫(yī)學(xué)生物工程、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
光學(xué)/光電子
光學(xué)/光電子領(lǐng)域中的光路自動(dòng)聚焦、光纖或光纖陣列的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、激光校準(zhǔn)、光電器件封裝等需要精確、快速定位的應(yīng)用場(chǎng)合。所有應(yīng)用場(chǎng)景我們均可提供適用于空氣環(huán)境、高真空(HV)和超高真空(UHV)環(huán)境的納米馬達(dá),并可配備位置傳感器。
精密工程
直線壓電定位平臺(tái)以及六足精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)已經(jīng)成為當(dāng)今精密工程與自動(dòng)化領(lǐng)域的重要組成部分。NATORS納米定位以及六足精密平臺(tái),具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、定位精度高、模塊化、易于自動(dòng)化集成的優(yōu)點(diǎn),并提供多種通訊協(xié)議接口,滿足各種精密自動(dòng)化應(yīng)用的需求。如SEM內(nèi)兼容的精密儀器、光學(xué)產(chǎn)品精密裝配系統(tǒng)等。
生物醫(yī)學(xué)與生命科學(xué)
生物醫(yī)學(xué)與生命科學(xué)的快速發(fā)展帶來(lái)了高速高精度定位系統(tǒng)的需求。主要應(yīng)用包括對(duì)于超分辨率顯微鏡或?qū)嶒?yàn)室自動(dòng)化的樣品定位、細(xì)胞注射、顯微操作手等。
半導(dǎo)體
隨著半導(dǎo)體制造領(lǐng)域光刻工藝的發(fā)展,芯片變的越來(lái)越小。對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程中的失效分析與故障測(cè)試、光刻工藝的定位、硅晶片精細(xì)結(jié)構(gòu)的原子級(jí)高分辨率表面測(cè)量等應(yīng)用需要大行程、高精密的定位系統(tǒng)。
航空航天
航空航天領(lǐng)域中高真空、低溫環(huán)境下的位置及角度的精確調(diào)整和對(duì)準(zhǔn),如通信微波天線的精密對(duì)準(zhǔn)、激光精確對(duì)準(zhǔn)等。
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