性能參數(shù)參數(shù)下載圖紙下載CAD模型
| 概觀 | |
|---|---|
| 軸數(shù) | 4 |
| 所用的定位臺 | LS-1720 |
| 步進(jìn)行程[mm] | 12x12x12x12 |
| 掃描行程[μm] | >1.5 |
| XY 最大負(fù)載[N] | 10 |
| Z 最大負(fù)載[N] | 1.5 |
| 靠板安裝尺寸[mm] | 60x60x51.5 (L x W x H) |
| 直接安裝尺寸[mm] | 43.5x41.5x46.5 (L x W x H) |
| 選配 | |
| 材質(zhì) | 標(biāo)配為鋁底座；可選配鋼座（-ST）、鈦基（-TI）；均黑色陽極氧化（-BK） |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 超高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 無磁 | 可根據(jù)要求定制 |
* 所有技術(shù)規(guī)格參數(shù)均為近似值，由于產(chǎn)品持續(xù)研發(fā)，我們保留更改技術(shù)規(guī)格的權(quán)利，恕不另行通知。