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| 概況 | |
|---|---|
| 軸數 | 3 |
| 步進行程[mm] | 12 per axis |
| 掃描行程[μm] | >2 |
| 靠板安裝尺寸[mm] | 60x60x51.5 |
| 直接安裝尺寸[mm] | 29.5x22x46.5 |
| 力特性 | |
| XY 最大負載[N] | 20 |
| Z 最大負載[N] | 1.5 |
| 開環定位 | |
| 最大速度[mm/s] | 20 |
| 定位分辨率[nm] | <1 |
| 閉環定位 | |
| 傳感器分辨率[nm] | 1 |
| 單向重復定位精度[nm] | ±40 |
| 選配 | |
| 材質 | 標配為鋁底座；其他材質可根據要求定制 |
| 真空 | HV(1E-6 mbar)、UHV(1E-10 mbar) |
| 低溫 | 可根據要求提供 |
| 無磁 | 可根據要求提供 |
* 所有技術規格參數均為近似值，由于產品持續研發，我們保留更改技術規格的權利，恕不另行通知。