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技術
TECHNOLOGY
NATORS專注于為全球客戶提供高精度的運動解決方案。核心技術在于壓電驅動慣性運動驅動器,可以在數十厘米的運動范圍內提供亞納米級的運動分辨率。其工作原理是通過壓電陶瓷作為驅動源(壓電陶瓷加載電壓后產生逆壓電效應產生微小伸縮變形并輸出驅動力)、并基于粘滑運動機理,即利用接觸面間動靜摩擦相互交替來實現微小步進位移。根據材料的選擇,這種定位器可以做成高真空(HV)、超高真空(UHV)、非磁性和低溫兼容的各種版本。
應用
APPLICATION
NATORS納米定位系列產品廣泛應用于需要大行程、高運動定位精度的各種工業及科研領域,尤其是工作空間有限、高真空/超高真空/無磁等特殊工作環境的場合。例如光學/光電子研究、同步輻射裝置、醫學生物工程、半導體制造等領域。
光學/光電子
光學/光電子領域中的光路自動聚焦、光纖或光纖陣列的自動對準、激光校準、光電器件封裝等需要精確、快速定位的應用場合。所有應用場景我們均可提供適用于空氣環境、高真空(HV)和超高真空(UHV)環境的納米馬達,并可配備位置傳感器。
精密工程
直線壓電定位平臺以及六足精密運動臺已經成為當今精密工程與自動化領域的重要組成部分。NATORS納米定位以及六足精密平臺,具有結構緊湊、體積小、定位精度高、模塊化、易于自動化集成的優點,并提供多種通訊協議接口,滿足各種精密自動化應用的需求。如SEM內兼容的精密儀器、光學產品精密裝配系統等。
生物醫學與生命科學
生物醫學與生命科學的快速發展帶來了高速高精度定位系統的需求。主要應用包括對于超分辨率顯微鏡或實驗室自動化的樣品定位、細胞注射、顯微操作手等。
半導體
隨著半導體制造領域光刻工藝的發展,芯片變的越來越小。對半導體制造過程中的失效分析與故障測試、光刻工藝的定位、硅晶片精細結構的原子級高分辨率表面測量等應用需要大行程、高精密的定位系統。
航空航天
航空航天領域中高真空、低溫環境下的位置及角度的精確調整和對準,如通信微波天線的精密對準、激光精確對準等。
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