| 概況 | |
|---|---|
| 行程[°] | ∞ |
| 尺寸[mm] | 22.5x22.5x11 |
| 重量[g] | 13 |
| 孔徑[mm] | 4 |
| 力特性 | |
扭矩[Ncm] | ≥0.5 |
| 最大法向力[N] | 3 |
| 定位性能 | |
| 開(kāi)環(huán)最大角速度[°/s] | 30 |
| 開(kāi)環(huán)定位分辨率[μ°] | 10 |
| 閉環(huán)最大角速度[°/s] | 30 |
| 閉環(huán)定位分辨率[μ°] | 30 |
| 選配 | |
| 材質(zhì) | 鋁為標(biāo)準(zhǔn);鋼底座(-ST);鈦基(-TI) |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 無(wú)磁 | 可根據(jù)要求定制 |