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| 概觀 | |
|---|---|
| 軸數 | 3 |
| 所用的定位臺 | LS-1730 |
| 步進行程[mm] | 21x21x21 |
| 掃描行程[μm] | >1.5 |
| XY 最大負載[N] | 10 |
| Z 最大負載[N] | 1.5 |
| 靠板安裝尺寸[mm] | 60x60x63 (L x W x H) |
| 直接安裝尺寸[mm] | 32.5x30x58 (L x W x H) |
| 選配 | |
| 材質 | 標配為鋁底座；可選配鋼座（-ST）、鈦基（-TI）；均黑色陽極氧化（-BK） |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 超高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 無磁 | 可根據要求定制 |
* 所有技術規格參數均為近似值，由于產品持續研發，我們保留更改技術規格的權利，恕不另行通知。