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| 概觀 | |
|---|---|
| 步進行程[mm] | 69 |
| 掃描行程[μm] | >1.5 |
| 尺寸[mm] | 105 x 24 x 12 |
| 重量[g] | 126 |
| 力特性 | |
| 最大推力[N] | 2 |
| 最大負載[N] | 10 |
| 最大升力[N] | 1.5 |
| 定位性能 | |
| 開環最大速度[mm/s] | >10 |
| 開環定位分辨率[nm] | <1 |
| 閉環最大速度[mm/s] | >5 |
| 閉環定位分辨率[nm] | <2 |
| 單向重復定位精度[nm] | ±50 |
| 選配 | |
| 材質 | 標配為鋁底座；可選配鋼座（-ST）、鈦基（-TI）；均黑色陽極氧化（-BK） |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 超高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 無磁 | 可根據要求定制 |
* 所有技術規格參數均為近似值，由于產品持續研發，我們保留更改技術規格的權利，恕不另行通知。