HEX110
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| 概況 | |
|---|---|
| 平移步進(jìn)行程[mm] | 20(X); 20(Y); 11(Z) |
| 旋轉(zhuǎn)行程 [°] | 23(ΘX); 26(ΘY); 37(ΘZ) |
| 尺寸[mm] | φ 110X47 |
| 重量[g] | 450 |
| 力特性 | |
| 垂直最大負(fù)載[N] | 5 |
| 水平最大推力[N] | 2.5 |
| 定位性能 | |
| 平移定位分辨率[nm] | 5 |
| 旋轉(zhuǎn)定位分辨率 [μ°] | 10 |
| 單向重復(fù)定位精度[nm] | ±70 |
| 選配 | |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 無磁 | 可根據(jù)要求定制 |
* 所有技術(shù)規(guī)格參數(shù)均為近似值，由于產(chǎn)品持續(xù)研發(fā)，我們保留更改技術(shù)規(guī)格的權(quán)利，恕不另行通知。